新工艺巧解半导体制造绿色转型难题！Kanthal康泰尔电气化加热元件有效应对晶圆加工批量热处理挑战，实现能耗降低超30%

对工业领域，尤其是半导体制造而言，在单一工艺中降低能耗是绿色转型的一个重要起点。对于高耗能行业的企业来说，这与排放密切相关，并影响着运营方式的方方面面，从采购到生产设计以及投资决策。随着期望不断提高、法规日益严格，这也会影响企业的长期信誉。作为工业加热技术和电阻材料领域的全球先进品牌，Kanthal康泰尔长期与客户合作，致力于在保持稳定工艺条件的同时考虑功耗问题。并在自身运营中使用同样的方法。截至2025年，Kanthal康泰尔相较2019年基准已将二氧化碳排放量减少57%，提前五年超过其经验证的2030年减排54%的目标。这一进展得益于工艺电气化以及向经认证的无化石燃料电力的转型发展。

Kanthal康泰尔新型加热元件，有效提高半导体制造效率

中欧一家半导体器件制造商亟需降低其卧式晶圆加工过程中的能耗，且工艺仍须维持在 1,245°C的稳定温度下运行，并要求系统稳定性不受影响。

制造商的具体目标是将能耗从 5.3 kWh 降低到 4.0 kWh。Kanthal康泰尔与客户合作，开发了一种采用节能元件的解决方案。模拟结果显示，新设计可将能耗减少约 1.6 kWh，降幅约为 30%。在客户现场进行的测试验证了这一结果，评估用加热元件将能耗降低至约 3.7 kWh。

在许多情况下，使用新加热元件节省下来的电力成本有助于抵消其投入成本。由于维持温度所需电力更少，加热元件的预期使用寿命也将更长。

“Kanthal康泰尔节能加热元件具有提升工艺性能的潜力。一种设计变型已在高温卧式炉应用中被证明有效，它能在减少关键区域热损的同时，保持传统加热元件的冷却速率。实现节能与保障生产效率的最佳冷却速率之间的平衡至关重要。”Kanthal康泰尔全球产品经理Tyke Johnson表示。

Kanthal康泰尔全球产品经理Tyke Johnson

Kanthal康泰尔与广大客户合作共赢

Kanthal康泰尔在半导体制造加热领域拥有40多年的经验，多样化技术涵盖不同炉型、工艺条件，能满足众多客户的多样化需求。针对每一项挑战，Kanthal康泰尔都会根据具体炉体配置和工艺要求提供定制化解决方案。

正如Johnson所说：“秉持以客户为中心的方法，意味着理解半导体制造中的每一个挑战都是独特的。这一切都关乎协作——客户的挑战就是我们的挑战，我们共同打造超越预期的解决方案。”

品牌传承与创新并行

Kanthal康泰尔的半导体加热产品组合包括重型和轻型Fibrothal® 加热元件，适用于300°C至1,350°C的工艺温度范围。

这些加热元件兼容不同品牌和配置的卧式与立式炉设计，适用于最大300毫米的晶圆基板，并可根据各种生产需求进行定制，包括多区配置。

该产品组合建立在早期技术基础之上。Fibrothal® 加热元件此前由MRL和Sandvik Materials Technology供应，在北美也被称为Aztec、Helix II、Helix、Black Max或Magna SW，在欧洲则称为White John。

起源于MRL的技术，如今已延续至Kanthal康泰尔的半导体加热解决方案之中。

如需了解更多信息，欢迎访问Kanthal康泰尔官网“www.kanthal.cn”，或关注“Kanthal康泰尔”微信公众号。